AM-S平台是公司開發的離線式全自動微組裝系統,可以搭載吸嘴加熱模塊、料盤/晶圓放置盤、超聲模塊、激光加熱模塊、UV點膠及固化模塊、熱氮及甲酸工藝保護氣體模塊、基底預熱模塊、過程監控模塊、芯片倒裝焊接模塊。
該平台採用大理石橋式結構,核心運動相關部件採用以色列軍工品牌ELMO驅動系統加荷蘭 直線驅動電機TECNOTION,可以實現0.1μ分辨率,單軸0.5μ重複定位精度。
公司開發的軟件系統集成設備內部恆溫控制、貼裝精度自整定、貼裝數據分析等功能模塊。可以為不同的客戶需求定製工藝流程、軟件、模塊, 化將設備的應用與客戶實際工藝深度結合
技術參數:
- 工作方式 離線式全自動 X軸行程 300mm
- Y軸行程 350mm Z軸行程 150mm
- 工作範圍 200*300mm T軸行程 360°
- 器件尺寸範圍 0.03-40mm XY軸解析度 0.5μm
- 綜合貼裝精度 ±2.5μm 3sigma Z軸解析度 0.5μm
- XY驅動形式 直線電機 T軸解析度 0.003°
- 鍵合力控制 20-500g 上部視覺系統 分辨率1μm
- 過程監控系統 可錄像拍照 下部視覺系統 分辨率1μm