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臺階儀的工作原理：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由於表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動,觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調製頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響,呈現所測量的表面輪廓信息。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重複性好，此外它還可以作為其它形貌測量技術的比對。
DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術突破，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣氾的應用於微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。
購買必要性：主要應用於我校科研工作的薄膜厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量。
工作原理和使用說明：DEKTAKXT臺階儀主要應用於我校外延片的不同薄膜生長層（如：GAN，SIC2，AU等）的厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量。其測量原理是採用觸針法接觸物體表面，通過紀錄探針在物體表面的垂直位移，並通過與同類物質層標準片的量測對比計算做精度校正及應力測量轉換，從而達到測量物體表面臺階高度、粗糙度等物理參數的目的。
主要參數指標：
拱形設計—系統更穩定
掃描長度：55mm( 可達200mm）
垂直測量範圍：1mm(標準）
臺階高度重現性5Å, 1 在1um臺階上
垂直分辨率： 1Å（6.55um範圍)
探針壓力：1－15mg（可選0.03mg）
探針曲率半徑：探針選項：探針曲率半徑
可選範圍：50nm至25μm；高徑比（HAR）
針尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可
按客戶要求定製針尖
優勢：
獨創的拱形設計—系統更穩定，噪音極低
LVDT傳感器---高分辨率，永不磨損
業內 的臺階高度重複性《 5 Å及埃級的垂直分辨率
快速便捷的探針替換，運用運動平衡裝置的替換夾具，利用強磁性可將探針臂牢牢固定在工作位置。 Bruker 技術
光學平整基面，極其穩定的基線，可以進行精確控制的平面掃描。每次掃描可獲得多達120,000個數據點
功能強大的分析軟件，可設置多次掃描和多點自動測量，可分析多種粗糙度參數，並對實驗結果自動輸出，計算平均值、方差、 值、最小值
儀器操作簡單、方便易學
應用：
金屬蝕刻均勻性測試
薄膜厚度和應力計算
光透膜和光阻膜厚度測量
MEMS 表征
化合物半導體器件
微透鏡厚度/曲率以及 V-槽深度測量
機加工部件粗糙度測量
太陽能電池表面檢測
LED 外延層測試 案例：
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