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https://tengxinchina.diytrade.com/
台阶仪的工作原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动,触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响,呈现所测量的表面轮廓信息。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。
DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
购买必要性：主要应用于我校科研工作的薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。
工作原理和使用说明：DEKTAKXT台阶仪主要应用于我校外延片的不同薄膜生长层（如：GAN，SIC2，AU等）的厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。其测量原理是采用触针法接触物体表面，通过纪录探针在物体表面的垂直位移，并通过与同类物质层标准片的量测对比计算做精度校正及应力测量转换，从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。
主要参数指标：
拱形设计—系统更稳定
扫描长度：55mm( 可达200mm）
垂直测量范围：1mm(标准）
台阶高度重现性5Å, 1 在1um台阶上
垂直分辨率： 1Å（6.55um范围)
探针压力：1－15mg（可选0.03mg）
探针曲率半径：探针选项：探针曲率半径
可选范围：50nm至25μm；高径比（HAR）
针尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可
按客户要求定制针尖
优势：
独创的拱形设计—系统更稳定，噪音极低
LVDT传感器---高分辨率，永不磨损
业内 的台阶高度重复性《 5 Å及埃级的垂直分辨率
快速便捷的探针替换，运用运动平衡装置的替换夹具，利用强磁性可将探针臂牢牢固定在工作位置。 Bruker 技术
光学平整基面，极其稳定的基线，可以进行精确控制的平面扫描。每次扫描可获得多达120,000个数据点
功能强大的分析软件，可设置多次扫描和多点自动测量，可分析多种粗糙度参数，并对实验结果自动输出，计算平均值、方差、 值、最小值
仪器操作简单、方便易学
应用：
金属蚀刻均匀性测试
薄膜厚度和应力计算
光透膜和光阻膜厚度测量
MEMS 表征
化合物半导体器件
微透镜厚度/曲率以及 V-槽深度测量
机加工部件粗糙度测量
太阳能电池表面检测
LED 外延层测试 案例：
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