型號︰Eagle I/AP/AP-I
品牌︰Camtek
原產地︰以色列
單價︰US $ 1100000 / 件
最少訂量︰1 件
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AOI,Automatic Optic Inspection的縮寫,即自動光學檢測,利用普通光線和激光配合電腦程序,對半導體製造中不同階段進行平面性外觀視覺檢驗,以代替人工目檢的光學設備。